KLA 納米壓痕儀
簡(jiǎn)要描述：iNano 納米壓痕儀可輕松測量薄膜、涂層和少量材料。 該儀器準確、靈活，并且用戶(hù)友好，可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級測試等多種納米級機械測試。 該儀器的力荷載和位移測量動(dòng)態(tài)范圍很大，因而可以實(shí)現從軟聚合物到金屬材料的精確和可重復測試。 模塊化選項適用于各種應用：材料性質(zhì)分布、特定頻率測試、刮擦和磨損以及高溫測試。 iNano提供了一整套測試擴展選項，包括樣品加熱、連續剛度測量、NanoBl
產(chǎn)品型號：iNano- 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間：2024-07-24
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靈活易用的力學(xué)測試可廣泛用于各種材料和應用
iNano為壓痕、硬度、劃痕測試和多元化納米級測試等納米級力學(xué)測試設計。iNano能夠測試包括軟質(zhì)高聚物到硬質(zhì)涂層和薄膜等在內的各種材料。模塊化系統選項可以適配各種不同應用：特定頻率測試、定量劃痕和磨損測試、集成探針成像、高溫測試和自定義方法編程等。
除了能夠推進(jìn)高?？蒲兄?，iNano還可以為以下材料和行業(yè)進(jìn)行納米壓痕測試和抗蠕變性測量：
| 生產(chǎn)質(zhì)量控制 | 金屬和合金 | 醫藥器械 |
| 涂料和油漆 | 半導體 | 高聚物與塑料 |
| MEMS/納米級器件 | 電池和儲能材料 | 陶瓷與玻璃 |
主要功能
模塊化設計, 可提供大通量的自動(dòng)化測試功能，并配有統計數據分析包，適用于納米力學(xué)性能測量、掃描探針顯微成像、高溫測量和IV電壓電流特性測試實(shí)時(shí)的實(shí)驗控制，簡(jiǎn)單易用的測試流程開(kāi)發(fā)和測試參數設置
標準的InForce 50電磁驅動(dòng)器
集成高速控制器電子設備完成告訴數據采集高達100kHz，捕獲材料瞬間的響應，例如鋸齒流變和斷裂現象。
集成了噪音隔離功能的剛度框架，可確保對各種材料進(jìn)行準確測量
數碼變焦的高分辨光學(xué)顯微鏡，精確定位樣本
納米壓痕老師在線(xiàn)講授專(zhuān)業(yè)納米壓痕課程，以及移動(dòng)應用程序能夠提供測試方法的實(shí)時(shí)更新
功能與選項概覽
KLA 核心技術(shù)
iNano 采用電磁驅動(dòng)轉換器提供動(dòng)力，電磁驅動(dòng)加載模塊技術(shù)因其優(yōu)勢被廣泛的應用在KLA的壓痕設備中,輕松實(shí)現載荷和位移的寬動(dòng)態(tài)范圍的控制,提供納米級的力學(xué)測試功能, 實(shí)現高精度觀(guān)察與定位測試樣本,以及樣品高度的簡(jiǎn)易調節。在其標準配置中，iNano采用了InForce 50驅動(dòng)器，并提供模塊化控制器以便用戶(hù)按需要增加功能。iNano設備提供掃描探針成像功能、劃痕及磨損測試功能、高溫納米力學(xué)測試功能、連續剛度測試(CSM) 和高速3D及4D力學(xué)圖譜等模塊化升級選件。
iNano 采用的InView測試控制和數據采集軟件,包含用于簡(jiǎn)化測試設置的帶屏幕控制的InviewRunTest，可在測試期間或之后進(jìn)行數據分析的 InView ReviewData，和生成各種綜合性測試報告的 InFocus 軟件。
連續剛度測量（CSM）
壓入循環(huán)期間測量剛度和其他材料特性
KLA的連續剛度測量技術(shù)能夠輕松評估材料在應變速率或蠕變效應影響下的動(dòng)態(tài)力學(xué)性能。CSM技術(shù)在壓入過(guò)程中保持探針以納米級的振幅持續振動(dòng)，從而獲得硬度、模量等力學(xué)性能隨深度、載荷、時(shí)間或頻率的變化而變化的特性。該選項提供常用的恒應變速率測試方法，用以測量隨深度或載荷變化的硬度和模量。CSM還可用于其他測量選項，其中包括用于存儲和損耗模量測量的ProbeDMA方法以及AccuFilm消除基底效應的薄測量等。連續剛度測量技術(shù)在InQuest控制器和InView軟件中集成，可以方便使用并保證數據的可靠性。
使用 CSM 選項測量隨壓入深度而變化的彈性模量
AccuFilm薄膜方法
通過(guò)校正襯底對測量的影響對超薄膜進(jìn)行表征
基于連續剛度測量技術(shù)(CSM)并結合Hay-Crawford模型的新一代AccuFilm薄膜測試選件可測量附著(zhù)于襯底的膜層材料，使用AccuFilm超薄膜方法是基于KLA的超薄膜的測試技術(shù)，實(shí)驗設置操作簡(jiǎn)單，對于軟襯底上的硬質(zhì)膜以及硬襯底上的軟質(zhì)膜，AccuFilm都可以校正襯底在膜測量中所帶來(lái)的影響。
使用 AccuFiLm 薄膜法，基底影響模量和純薄膜模量作為歸一化壓痕深度的函數
NanoBlitz 3D 快速力學(xué)性能分布
快速定量地測量表面力學(xué)性能分布
測量粗糙表面和/或異質(zhì)材料
通過(guò)增加觀(guān)察次數給出具有統計意義的結果
NanoBlitz 3D 采用快速納米壓痕測試技術(shù)，實(shí)現每個(gè)壓痕測試時(shí)間小于1秒。單次試驗壓痕個(gè)數可達100000個(gè)（300X300矩陣），可在用戶(hù)測試的恒定加載力下，提供材料彈性模量，硬度和接觸剛度的三維圖譜?？焖偾掖罅康臏y試點(diǎn)提高了統計的準確性，同時(shí)可以直接對不同相或不同特性區域進(jìn)行力學(xué)均值、分布和面積占比的統計。NanoBlitz 3D功能為用戶(hù)提供數據可視化和強大的統計數據分析處理功能。
使用 NanoBlitz 3D 選項繪制 WC-CO 復合材料的硬度分布圖和統計直方圖
NanoBlitz4D 力學(xué)性能斷層掃描
基于連續剛度測量(CSM) 技術(shù)的力學(xué)性能斷層掃描
NanoBlitz 4D力學(xué)譜圖利用InForce 50或InForce 1000驅動(dòng)器和Berkovich壓頭為低E/H值和高模量(> 3GPa) 材料生成納米力學(xué)性質(zhì)的4D圖。NanoBlitz4D以每個(gè)壓痕5秒的速度完成多達10,000個(gè)壓痕（30×30陣列），并為陣列中的每個(gè)壓痕測量隨深度而變化的楊氏模量(E)、硬度(H)和剛度(S)數值。NanoBlitz 4D采用恒應變速率方法，為用戶(hù)提供數據可視化和強大的統計數據分析處理功能。
使用 NanoBlitz 4D 選項針對多層薄膜繪制兩個(gè)不同壓入深度的彈性和塑性分布圖
ProbeDMA高聚物測試
聚合物測試包中配置了圓底平頭探針、粘彈性測試標樣和粘彈特性的測試方法，該測試選件基于連續剛度測量技術(shù)，可在不同頻率條件下對材料進(jìn)行高效可靠測量，得到儲存模量和損耗模量與頻率的變化關(guān)系。該測量技術(shù)對納米量級的聚合物及聚合物薄膜的力學(xué)表征很重要。
使用圓底平頭探針測試一系列標準高聚物樣品的儲能模量
劃痕和磨損測試方法
壓頭通過(guò)樣品表面時(shí)對其施加恒定或漸增的載荷
iNano系統可以對多種材料進(jìn)行劃痕和磨損測試。在涂層和薄膜經(jīng)過(guò)化學(xué)機械拋光(CMP) 和引線(xiàn)鍵合等的多種工藝處理的時(shí)候，其強度及其對基材的附著(zhù)力會(huì )備受考驗。在加工工藝中，材料是否能抵抗塑性變形并保持完整而不從襯底上起泡非常重要。理想情況下，介電材料具有高硬度和高彈性模量，因為這些參數有助于了解材料在制造工藝中的性能變化。
劃痕測試的定量分析
300°C 樣品加熱
允許將樣品放入一個(gè)腔室中，以便在測試期間對其均勻加熱
300°C 的樣品加熱選項允許將樣品放置在一個(gè)腔室內進(jìn)行均勻加熱，同時(shí)接受測試。
iNano 樣品加熱選項用于表征高溫下的機械性能。
該測試方法可以測量并輸出楊氏模量、儀表硬度、維氏硬度和歸一化壓痕功。
在一系列標準樣品上所測得的硬度值
iNano 的其他升級選項
遠程視頻觀(guān)看 : 遠程視頻選項包括已安裝的網(wǎng)絡(luò )攝像頭，便于在測試之前和期間查看樣品。兩個(gè)觀(guān)察角度分布為樣品設置視圖和原位測試視圖，可分別觀(guān)察樣品和納米壓頭。
DataBurst 模式 : DataBurst 模式在高達 100kHz 的速度下觸發(fā)超級數據采集，捕獲材料瞬間響應，例如鋸齒流變和斷裂現象；允許在真正的步進(jìn)荷載下測量高應變率材料的力學(xué)性能；儀器幫助客戶(hù)精準捕捉材料瞬間的真實(shí)響應。
InView 開(kāi)放式軟件編寫(xiě)平臺 : InView 采用開(kāi)放式軟件編寫(xiě)平臺，以幫助客戶(hù)在測試過(guò)程中實(shí)現加載，測量和計算的全面控制。用于設計新穎或復雜的實(shí)驗。開(kāi)放式軟件編寫(xiě)平臺給予客戶(hù)靈活性：幫助客戶(hù)輕易采集原始測試數據到和分析結果的全面使用；客戶(hù)可以一覽無(wú)余，編輯計算公式，自定義參數，實(shí)現個(gè)性化試驗設計；用戶(hù)可以自由設計和改變試驗參數和試驗過(guò)程，為探索新的試驗測試提供可能。
TrueTestI-V 電學(xué)測試 : True Test I-V 選項允許用戶(hù)向樣品施加特定電壓并測量壓頭的電流，以表征納米力學(xué)測量過(guò)程中電學(xué)特性的局部變化。
帶有模塊化機架的主動(dòng)振動(dòng)隔離:在 iNano 的內置被動(dòng)隔振的基礎上增加主動(dòng)隔振，為超薄薄膜上高難度的納米力學(xué)測量提供了穩定性和精確度。主動(dòng)隔振系統減少了所有六個(gè)自由度的振動(dòng)，無(wú)需進(jìn)行調整。
生物軟材料測試選項臺 : 生物材料測試方法利用連續剛度測試 CSM 表征模量在 1kPa 左右的生物軟材料;包含一個(gè)平底壓頭和測量軟材料儲存損耗模量的測試方法。
壓頭探針和校準樣品 : InForce 50、InForce 1000 和 Gemini 驅動(dòng)器的可互換壓頭包括 Berkovich、立體角、維氏，以及平底和球體壓頭。
