光學(xué)3d表面輪廓儀
簡(jiǎn)要描述：光學(xué)3d表面輪廓儀讓3D光學(xué)輪廓測量的價(jià)格變得能夠接受。Profilm3D使用垂直干涉掃描（WLI）與高精度的相位干涉（PSI）技術(shù)。以很低的價(jià)格實(shí)現次納米級的表面形貌研究。
產(chǎn)品型號：Profilm3D- 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間：2024-07-24
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Profilm3D 光學(xué)輪廓儀
低成本 – 高精度
Filmetrics讓3D光學(xué)輪廓測量的價(jià)格變得更加能夠接受。Profilm3D使用的垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術(shù)。以?xún)?yōu)勢的價(jià)格實(shí)現次納米級的表面形貌研究。
100mm自動(dòng)X(jué)Y樣品臺
您還在位每人都希望要的功能而支付額外的費用嗎？我們現在每臺Profilm3D都將100mm自動(dòng)X(jué)Y樣品臺，4孔物鏡轉臺和手動(dòng)調平裝置作為標準配置。
超大的視場(chǎng)范圍
Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達到2mm的超大視場(chǎng)范圍，同時(shí)其4倍光學(xué)變焦的功能緩解了不同應用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需求。這些都進(jìn)一步降低了采購成本。
1 特征值
2 8 μm 臺階高度
3 度是指每天測量30次10um臺階高度標樣的1次標準差，連續成功測量20天的平均值。環(huán)境溫度穩定性小于 1°C。
穩定性是指連續成功測量10um臺階高度標樣20天，取每天測量30次數值的平均值，計算2倍標準差。環(huán)境溫度穩定性小于 1°C。
4 所有變焦縮放后的有效像素為648 x 484 (通過(guò)數位化的pixel binning實(shí)現)
5 分開(kāi)銷(xiāo)售
6 樣品上投影的像素大小
7 樣品表面粗糙時(shí)可測傾角將大
