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- AT2Lumina薄膜缺陷檢測儀
Lumina AT2薄膜缺陷檢測儀實(shí)現亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應力點(diǎn)和其他缺陷的全表面掃描和成像。實(shí)用于透明、硅、化合物半導體和金屬基底。在2分鐘內掃描并顯示300毫米晶圓。動(dòng)態(tài)補償表面翹曲??梢詷丝坛鋈毕莸奈恢?,以便進(jìn)一步分析??扇菁{高達450 x 450 mm的非圓形和易碎基板。能夠通過(guò)一次掃描分離透明基板上的頂部/底部特征。
- 型號:AT2
- 更新日期:2024-06-28 ¥59
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- AT1Lumina薄膜缺陷檢測儀
Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀實(shí)現亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應力點(diǎn)和其他缺陷的全表面掃描和成像。實(shí)用于透明、硅、化合物半導體和金屬基底。在3分鐘內掃描并顯示150毫米晶圓??梢詷丝坛鋈毕莸奈恢?,以便進(jìn)一步分析。 可容納高達300 x 300 mm的非圓形和易碎基板。 能夠通過(guò)一次掃描分離透明基板上的頂部/底部特征。
- 型號:AT1
- 更新日期:2024-06-28 ¥59
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